敞開式光柵尺利用光束干涉的原理進(jìn)行測(cè)量。具體來(lái)說(shuō)，它使用精細(xì)光柵的光衍射和光干涉來(lái)生成位移測(cè)量的信號(hào)。當(dāng)光柵與掃描掩膜之間有相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，衍射波面會(huì)產(chǎn)生相位移。這些相位移被光電池等元件捕捉并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)位移的準(zhǔn)確測(cè)量。
在敞開式光柵尺中，傳感器生成四路近正弦電流信號(hào)(10°、190°、1180°和1270°)，這些信號(hào)相互間的相位差為90°電子角。這些掃描信號(hào)開始時(shí)并不對(duì)稱于零線，因此通過(guò)反向平行地連接光電池，可以生成兩路相位差90°電子角的輸出信號(hào)I1和I2，這兩路信號(hào)對(duì)稱于零線。在示波器的X/Y坐標(biāo)圖中，這兩路信號(hào)形成李薩如圖形，其形狀和位置可以反映位置誤差。
敞開式光柵尺特點(diǎn)：
高精度：采用干涉掃描原理，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分，因此特別適用于小測(cè)量步距和高精度應(yīng)用，高質(zhì)量的光柵和掃描方式保證了光柵尺的高精度和可靠工作。
快速響應(yīng)：具有快速響應(yīng)的特點(diǎn)，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)位移變化；其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖，具有檢測(cè)范圍大、檢測(cè)精度高、響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。
可靠穩(wěn)定：結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，讀數(shù)頭和刻度尺之間無(wú)任何接觸，因此不存在摩擦力，提高了測(cè)量的穩(wěn)定性和可靠性；采用單場(chǎng)掃描原理，由單一的大型掃描場(chǎng)生成掃描信號(hào)，降低了對(duì)污染的敏感性，具有較強(qiáng)的抗污能力。
安裝簡(jiǎn)便：安裝相對(duì)簡(jiǎn)便快捷；其讀數(shù)頭和刻度尺一體的設(shè)計(jì)使得安裝過(guò)程更加簡(jiǎn)單。
敞開式光柵尺廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、機(jī)械加工、位置測(cè)量、三維掃描等領(lǐng)域。
可用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，以觀察和跟蹤走刀誤差，起到補(bǔ)償?shù)毒哌\(yùn)動(dòng)誤差的作用。
更新時(shí)間：2024-12-27 
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